База кодов ГОСТ

Общероссийский классификатор стандартов → МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ → Линейные и угловые измерения *Включая геометрические характеристики (GPS) → Линейные и угловые измерения в целом

ГОСТ Р 8.628-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м.
Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов

Название на англ.:	State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection
Тип документа:	стандарт
Статус документа:	действующий
Число страниц:	12
Дата актуализации текста:	01.08.2013
Дата актуализации описания:	01.08.2013
Дата издания:	10.02.2011
Дата введения в действие:	01.02.2008
Дата последнего изменения:	22.05.2013
Переиздание:	переиздание с изм. 1

Поправки и изменения:

• Изменение №1 к ГОСТ Р 8.628-2007

• 
• 
• 
• 
• 
• 
• 
• 
• 
• 
• 
•